製程器材

-Spin Coater: 旋轉塗布機 4 台
-Slit Coater: 精密狹縫塗佈機
-Spray Coater: 精密光阻噴塗機
-Mask Aligner: 精密對位曝光機 3 台
-E-Gun Film Deposition: 電子束真空鍍膜機
-Nikon i-line Stepper: i-line 步進式精密曝光機
-Laser Direct Imaging: 雷射直寫曝光機
-Conveyer wet Etching Line: 自動濕式蝕刻機
-Conveyer Developing Line: 自動顯影機
-Filmetrics: 光學膜厚量測儀
-Optical Microscope: 光學顯微鏡
-Laser Confocal Microscope: 雷射共聚焦顯微鏡
-SEM: 掃描式電子顯微鏡  

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